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SiC晶圆
激光退火 | LA
SiC晶圆激光退火 | LA
应用领域
SiC晶圆欧姆接触制备
产品特点
  • 国内首家通过量产验证

  • 成熟稳定、可靠性好

  • 全自主光学系统,LIET专利光学整形技术

  • 绿光、紫外两种波长可选

型号LA2515UVLA2540/2550S
晶圆尺寸6寸、8寸
光斑尺寸X:100~500μmY:100~500μm
最大激光能量密度Green:10J/cm2UV:6J/cm2
比电阻接触率~10-5Ω·cm2
氧含量控制≤10ppm